Filgen锇等离子镀膜仪

Filgen锇等离子镀膜仪是一种利用直流等离子体放电的负级辉光刘样晶进行镀膜的等离子体CVD镀膜机。传统的金属镀膜设备，主要以重金属为涂丛材料，如金、铂、钯等。采用这些方法，涂层本身的粒度问题无论如何都是不可避免的。同时，在高倍镜下规察，这些方法所包覆的试样无法避免SEM强电子东照射引起的充电.热损伤和污染，导致SEM图像分辨率较低。

Filgen锇等离子镀膜仪优点：

锇薄膜

无晶粒:形成非晶态金属镀层

无热损伤:涂层在室温下进行。

无电子束损伤:锇的熔化温度为2700C

:涂层从真空状态开始

等离子聚合薄膜

保膜耐FIB中使用的镓离子束

耐热绝缘薄膜

无晶粒形成非晶态金属镀层

无热损伤:涂员在室温下进行

无电子束损伤

：涂层从真空状态开始

可用性

自动:设置完成后，按下开始按饿即可完成整个过程

直观:涂层厚度是由厚度设置控制，而不是由放电时间镀膜时间短:几纳米/几秒

易更换操作系统：安瓿可拆卸储液罐，观察窗(用于检查剩余操作系统数量)和储液罐内置安瓿切断器

安全性

全自动减少人为失误的机会

Os储层的安全特性:气口-体锁紧销和内置安瓿切断器

带反应室的联锁系统:除非0s04耗尽，否则不能打开反应室，当反应室打开时不能引入Os04

故障安全，以防止操作系统泄漏在电源关闭

锇吸收过滤器：不需要任何机器

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